液晶ディスプレイメーカー向けPR洗浄自動生産ラインの中核設備
PR（フォトレジスト）洗浄自動生産ラインは、液晶ディスプレイ製造における中核となるウェットプロセス装置です。これは主に、アレイ基板上のフォトリソグラフィープロセスの後に、残留フォトレジスト、エッチング残留物、および表面の微小汚染物質を徹底的に除去するために使用されます。-。パネル回路の精度を確保し、製品の歩留まりを向上させるための重要な装置です。クラス 100 クリーンルームの厳しい生産環境に最適で、高精度、自動化された汚染のない閉ループ洗浄操作を実現します。{6}{6}{6}
フォトリソグラフィ プロセス後のポジ型およびネガ型フォトレジストの残留物を対象として、多段階の超音波洗浄 + 純水オーバーフロー リンス プロセスを利用して、フォトリソグラフィ エッチング後に残った破片、有機汚染物質、塵粒子、その他の不純物を深く除去します。{0} 0.5μm以下の微細な残留物を徹底的に除去し、不純物によるパネル断線、輝点、ムラ点などの不良を防止します。 0.1μmの高精度ろ過システムと組み合わせることで二次汚染を防ぎます。{6} 100% の除去被覆率で、その後のエッチングやコーティングのプロセスに残留接着層が及ぼす影響を回避し、完全で損傷のない除去を実現します。-
-内蔵の ESD 静電気制御モジュールは、静電気の値を ±100 V 以下の範囲内で厳密に制御します。キャビティの静電気防止材と非接触磁気ホイール供給技術を組み合わせることで、静電気放電によるパネルの精密回路の損傷を回避すると同時に、ガラス基板の摩擦による傷、欠け、発塵を防ぎ、基板の完全性を最大限に保護します。
高温・低温恒温試験器
LCD スクリーン メーカー向けの自動洗浄および乾燥生産ライン装置の中核には、エア ナイフ切断と定温熱風乾燥という 2 つの乾燥モードが統合されています。-これにより、基材表面から水汚れが素早く除去され、ウォーターマーク-や痕跡のない乾燥が実現します。-乾燥後は基板表面の含水率がゼロに近づくため、二次加工を行わずに次工程に直接移送でき、工程の連続性が確保されます。 PLC 制御システムにより、ロード、位置決め、洗浄、アンロードの完全に自動化された閉ループ操作が可能になります。{6}}洗浄液の濃度調整、温度、湿度、清浄度のリアルタイム監視とアラーム機能をサポートしています。-密閉チャンバーと勾配負圧設計により、化学ガスの漏れを防ぎます。クラス 100 クリーンルームの正圧環境と組み合わせることで、超純水のリサイクルや廃液の分類と回収も可能になり、省エネと環境保護の両方の要件を満たします。-
従来の手動洗浄と比較して、完全に自動化された PR 洗浄生産ラインには、かけがえのない利点があります。洗浄効率が 3 倍以上向上し、シフトごとにほぼ 10,000 枚のガラス基板を処理できるため、プロセスサイクルが大幅に短縮されます。洗浄の一貫性は優れており、0.5μm未満の微細な残留物を徹底的に除去し、パネルの欠陥率を0.5PPM以内に制御し、画面上の輝点、暗点、回路破損などの欠陥を効果的に回避します。この装置は節水および省エネ設計を採用しており、高い純水回収率と廃水の分別収集と処理を備えており、環境保護生産要件を満たしています。機械全体は耐食性の高い PVC と SUS304 ステンレス鋼で作られており、密閉性が高く、洗浄とメンテナンスが簡単で、クリーンルームでの 24 時間の連続運転に適しています。-この装置は、ハイエンド製品ラインを構築し、中核となる競争力を強化するための LCD スクリーン メーカーの標準装備となっています。
LCDディスプレイメーカーのフォトリソグラフィー工場のコア機器
露光装置はフォトリソグラフィーのワークショップの中核となる装置であり、LCD アレイ製造プロセスの主要なプロセス領域です。パネル リソグラフィー マシンとしても知られる、高精度の光学式湿式プロセス デバイスです。-その主な機能は、光露光によってフォトレジストでコーティングされたガラス基板上に基板回路設計パターンを転写することであり、これはパネル内の微細回路の形成に極めて重要です。-回路パターンをフォトマスクからガラス基板に正確に転写することは、その後のエッチング、コーティング、PR 洗浄プロセスの前提条件であり、ディスプレイ画面の品質を直接決定します。この装置は、大型で薄い LCD ガラス基板に適した非接触露光プロセスを使用しており、基板の傷、損傷、汚染を回避します。-
主要な技術ハイライトには、ミクロン- レベル、さらにはサブ-ミクロン- レベルのオーバーレイ精度を備えた高精度アライメント システムが含まれます。これにより、誤差は髪の毛の直径の数千分の 1 以内に制御され、多層回路スタッキングで位置ずれがゼロになります。-均一な露光光源とダイナミックフォーカス技術を使用して、露光エネルギーの変動を実現します。<±3% on large-size substrates of several square meters, guaranteeing pattern consistency; a vacuum adsorption substrate platform to effectively suppress substrate deformation and improve exposure pass rate; and a PLC intelligent control system to achieve fully automated substrate loading, pre-alignment, exposure, and unloading, supporting online parameter monitoring, anomaly alarms, and data traceability, suitable for 24-hour continuous mass production.
ワークショップ全体では 589nm の単色黄色光源を使用し、紫外線、青色、白色光などの短波長光を完全に除去し、これらの光線がフォトレジスト内で光化学反応を早期に引き起こし、パターンの位置ずれ、不完全なライン、短絡、断線などの致命的な欠陥を引き起こすのを防ぎます。-照明システムは、専用の黄色 LED と二重層フィルターを組み合わせて使用し、迷光の漏れを防ぎます。-ドア、窓、観察窓には紫外線防止フィルター素材が装備されています。-携帯電話、カメラ、高出力懐中電灯、その他の外部光源のワークショップ内での使用は固く禁止されており、光源からフォトレジストが早期に露出するリスクを排除するために、全域の照明制御が実装されています。-
LCDディスプレイメーカー向けのクラス100クリーンルームの紹介
高精度 LCD 製造の分野では、クラス 100 クリーンルーム (ISO クラス 5 クリーンルーム) が中核的な生産施設であり、メーカーの技術力と製品歩留まりの重要な指標となります。-これらは、BOE、TCL CSOT、HKC、Tianma などの大手ディスプレイ企業によって、アレイ、セルアセンブリ、モジュールパッケージングなどのコアプロセス段階で広く使用されています。これらのクリーンルームには厳しい清浄度基準があり、空気 1 立方フィートあたり直径 0.5 μm 以上の浮遊塵粒子が 100 個以下 (立方メートルあたり 3520 以下) です。この清浄度レベルは医療手術室の清浄度をはるかに上回り、塵、静電気、化学汚染物質が精密なプロセスを妨げるのを防ぐ「強力なバリア」として機能します。これは、画面の画質、寿命、歩留まりを直接決定するコアハードウェアコンポーネントです。
このワークショップは、ISO 国際規格および国内規格に厳密に従って設計および構築されています。垂直一方向エアフロー モードを採用し、4 段階の ULPA ろ過システム (プレ-フィルタ、中-効率フィルタ、高-効率フィルタ、超高-効率フィルタ) と組み合わせて、最大 99.999% のろ過効率を達成し、塵を瞬時に除去し、気流のデッドを排除します。ゾーン。同時に、あらゆる面で正確な環境制御が達成されます。温度は23±1度、相対湿度は45%-55%に制御され、クリーンエリアは陽圧状態に維持され、隣接するエリア間の圧力差は10Pa以上で、外部からの塵埃の侵入を完全に防ぎます。ディスプレイパネルが静電気による損傷を受けやすいことを考慮して、-帯電防止エポキシセルフレベリング床材が使用され、-壁と天井には 304 ステンレス鋼とクリーンルーム用カラー鋼板が使用され、プロセス全体で静電気値が厳密に管理されています。分子レベルのVOC化学汚染物質や微振動などの潜在的な干渉に対して追加の制御が提供され、フォトリソグラフィー、薄膜堆積、液晶注入などのナノスケールプロセスの要件を満たします。
この作業場は段階的なクリーンルーム ゾーニング設計を採用しており、クラス 100 のコア エリア、クラス 1000 のバッファ エリア、クラス 10,000 の補助エリアに分かれており、相互汚染を防止する層があり、人員と自動材料コンベヤ ラインは完全に分離されています。職員は着替え、エアシャワー、静電気検出の 3 つのプロセスを経る必要があり、全身クリーンルーム スーツ、防塵手袋、ゴーグルを着用した後にのみ立ち入ることができます。-材料は連動した搬送窓を通って搬送され、塵埃や静電気の除去処理が行われます。内部には、FFU 層流フード、オンライン粒子計数器、温度および湿度センサー、差圧モニター、および 24 時間のリアルタイム監視とデータ追跡可能性を実現するその他の機器が装備されており、継続的な環境の安定性を確保するために、異常な指標が発生した場合には直ちに警告を発し、調整を行います。
